UL1000 Fab氦質(zhì)譜檢漏儀
工藝能力
技術(shù)指標(biāo)：
- 氦氣（真空模式）最低可檢漏率<5*10-12 mbar•L/s
- 氦氣（吸槍模式）最低可檢漏率3*10-8 mbar•L/s
- 最大可以顯示氦的可檢漏率0.1 mbar•L/s
- GROSS 模式最大進(jìn)氣口壓力15 mbar
- FINE 模式最大進(jìn)氣口壓力2 mbar
- ULTRA 模式最大進(jìn)氣口壓力0.4 mbar
- 抽真空期間的抽氣能力25m³/h at 50 Hz
- GROSS 模式氦氣抽氣能力max.8 L/s
- FINE 模式氦氣抽氣能力7 L/s
- ULTRA 模式氦氣抽氣能力2.5 L/s
- 啟動(dòng)時(shí)間< 3min
- 響應(yīng)時(shí)間≤1 s
- 內(nèi)置校準(zhǔn)測(cè)試漏孔10-7 mbar•L/s
設(shè)備能力：
適用于半導(dǎo)體工業(yè)精確檢漏，具備靈活性測(cè)試、高靈敏度、快速與精確的結(jié)果、快速啟動(dòng)、移動(dòng)性和系統(tǒng)的可靠性等特點(diǎn)，能夠在半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)、工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝、元器件在組裝前的漏率測(cè)試中快速提供測(cè)試結(jié)果。
